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带SLI2安全认证的在线硅烷气体检测仪在半导体行业的应用

发布时间:2022-12-15      点击次数:111

硅烷巨成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体,用干各种微电子酒膜制备,包括单品膜,微品,多品、氧化鞋、氛化硅,金属硅化物等,硅烷的微电子应用还在向纵深发展:低温外延,选择外延,异质外延,不仅用干硅器件和硅集成电路,也用干化合物半导体器件(砷化镓,碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大,更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷丙硅烷)。所以在半导体行业,硅烷的应用是非常广泛的。

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但是硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、头晕并刺激上呼吸道,硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病,这是由于存在结晶二氧化硅的原因。暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤,如果硅烷浓度过高,对现场的工作人员有一定的危害性,不利于健康。



深国安带SLI2安全认证的在线硅烷气体检测仪应用于半导体现场硅烷检测,24小时连续在线监测硅烷及温湿度的测量,可同时扩展检测1~6种气体浓度和温湿度,现场显示浓度和超标声光报警,远程数据传输。采用2.5寸高清彩屏实时显示浓度,选用电化学气体传感器、,国安带SLI2安全认证的在线硅烷气体检测仪先进的电路设计、成熟的内核算法处理,取得了多项软件著作砖利和外观砖利,国安带SLI2安全认证的在线硅烷气体检测仪可以检测管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度也可以检测气体泄漏,还可以检测高浓度单一气体的纯度。坚固耐用的防爆外壳和氟碳漆表面处理工艺适用于各种危险场所和强酸强碱的腐蚀性环境,耐磨损,10年内不褪色和掉漆。


深国安带SLI2安全认证的在线硅烷气体检测仪特点

●任何气体尺寸统一、信号统一、用法统一;
●扩散式、泵吸式两种采样方式可选;
●可选配专属标气罩,由扩散式气室变成泵吸式气室;
●一体泵吸式气室可选,方便泵吸式采样;
● 只需对接一次,即可对应1000多种可燃、有毒和挥发性气体,一劳永逸;



 

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