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三氟化氮检测仪具体安装要求

更新时间:2024-06-05      点击次数:75
  三氟化氮检测仪是一种用于连续监测工业环境中三氟化氮(NF3)气体浓度的重要安全设备。这种装置特别适用于半导体制造、平板显示器生产、光纤和光伏电池制造等高科技行业,这些领域在生产过程中广泛使用三氟化氮作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂。
  三氟化氮检测仪具体安装要求如下:
  1.选择安装位置:
  安装位置应选择在可能的泄漏源附近,确保快速准确的检测到三氟化氮泄漏。
  设备应安装在避免直接日光、雨水、以及强电磁干扰的环境中。
  安装高度应考虑到三氟化氮比空气重的特性,通常建议在泄漏源附近的较低位置或地面上方1米左右的位置进行安装。
  2.确定安装方式:
  固定式三氟化氮检测仪支持多种安装方式,包括管道式、壁挂式等。选择适合特定环境的安装方式。
  对于管道式安装,确保管道与探测器连接紧密无泄漏,工作压力需保持在大气压的±30%范围内。
  3.电气连接与电源要求:
  确保电源供应稳定,符合设备的电压和电流要求。一般工作电压为12~36V直流电。
  连接电缆应选择符合RS485或4~20mA标准的信号传输线材,并注意屏蔽效果,以减少外部干扰。
  4.防爆与安全认证:
  确认所选设备符合相应的防爆标准,如隔爆型ExdⅡCT6,确保在潜在爆炸性环境中安全使用。
  设备及其所有部件均应通过必要的安全认证,如CE认证、ROHS指令等。
  5.功能测试与校验:
  安装完成后进行功能测试,验证报警、显示和其他功能是否正常。
  根据制造商的指导手册进行设备的定期校准和维护,以确保持续准确的监测效果。

三氟化氮检测仪

 

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