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深国安在线式氢气气体检测仪主要应用市场

更新时间:2025-10-20      点击次数:34

深国安在线式氢气气体检测仪:多场景下的安全监测核心设备

一、化工与石化行业:生产环节的“防爆哨兵"

应用场景:合成氨/甲醇生产车间、石油炼制加氢工艺、氯碱工业电解槽周边、氢气压缩机房及管道接口处。
核心作用

应用场景:晶圆制造车间(外延生长、离子注入)、电子元件焊接保护气系统、光刻胶涂覆工艺间。

核心作用:

保护气氛围监测:氢气在半导体工艺中作为还原性保护气(如硅片外延生长时防止氧化),检测仪需实时监控管道内氢气浓度(通常要求≥99.999%),当纯度下降或混入空气时触发报警,避免硅片氧化导致产品良率降低。

洁净室安全防护:在百级/千级洁净室内,氢气泄漏可能与光刻胶等有机溶剂蒸汽形成燃爆混合物,检测仪需具备抗电磁干扰(EMI)能力,与FFU(风机过滤单元)联动,确保泄漏后快速置换空气,维持Class 1级洁净度标准。

设备尾气排放监控:监测外延炉、离子注入机的尾气排放口氢气浓度,确保燃烧处理装置(如火炬系统)分解未反应氢气,避免直接排放引发大气污染或安全隐患


应用场景:金属热处理炉(如退火、淬火)、镁铝冶炼车间、焊接保护气管道。
核心作用


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