应用场景:合成氨/甲醇生产车间、石油炼制加氢工艺、氯碱工业电解槽周边、氢气压缩机房及管道接口处。
核心作用:
泄漏实时监测:氢气在化工生产中作为原料(如合成氨的N₂+H₂反应)或中间产物(如石油加氢脱硫),需通过检测仪精准捕捉管道阀门、法兰等薄弱环节的微量泄漏(检测范围通常覆盖0-1000ppm或0-4%LEL),防止浓度达到爆炸下限(4%)引发燃爆事故。
工艺安全控制:在加氢反应釜、气柜等设备附近部署,实时监测氢气纯度与压力波动,确保反应条件稳定(如合成氨工艺中氢气纯度需维持在99.9%以上),避免因浓度异常导致产品质量下降或设备腐蚀。
区域风险划分:根据氢气比空气轻(密度0.0899kg/m³)的特性,在车间顶部等高位置安装检测仪,形成立体监测网络,覆盖泄漏气体易积聚区域,联动排风系统快速稀释浓度
应用场景:晶圆制造车间(外延生长、离子注入)、电子元件焊接保护气系统、光刻胶涂覆工艺间。
核心作用:
保护气氛围监测:氢气在半导体工艺中作为还原性保护气(如硅片外延生长时防止氧化),检测仪需实时监控管道内氢气浓度(通常要求≥99.999%),当纯度下降或混入空气时触发报警,避免硅片氧化导致产品良率降低。
洁净室安全防护:在百级/千级洁净室内,氢气泄漏可能与光刻胶等有机溶剂蒸汽形成燃爆混合物,检测仪需具备抗电磁干扰(EMI)能力,与FFU(风机过滤单元)联动,确保泄漏后快速置换空气,维持Class 1级洁净度标准。
设备尾气排放监控:监测外延炉、离子注入机的尾气排放口氢气浓度,确保燃烧处理装置(如火炬系统)分解未反应氢气,避免直接排放引发大气污染或安全隐患
应用场景:金属热处理炉(如退火、淬火)、镁铝冶炼车间、焊接保护气管道。
核心作用:
高温环境下的稳定监测:在1000℃以上的热处理炉周边,检测仪需具备耐温设计(如采用高温隔热外壳或外置采样泵),监测炉体密封失效导致的氢气泄漏,防止与高温金属接触引发爆燃。
镁合金熔炼安全:镁在熔融状态下与氢气接触可能产生氢脆,检测仪需安装在熔炼炉加料口、出液口等位置,实时监控氢气浓度,与惰性气体(氩气)补气系统联动,抑制氢气渗透。
焊接工艺保护:氢气作为焊接保护气时,泄漏可能导致焊缝气孔或氢致裂纹,检测仪需与焊接机器人的气源控制系统对接,浓度异常时自动切换至备用保护气(如氮气),保障焊接质量。