带 SLI2 安全认证的在线二氧化氮气体检测仪在半导体行业的应用

在环境空气质量监测范畴中，对于二氧化氮（NO₂）的在线监测已经较为普遍。因为二氧化氮（NO₂）本身就是《环境空气质量标准》GB 3095-2012 所涉及的六项环境空气基本污染项目之一。该标准中明确规定，二氧化氮（NO₂）的年平均浓度限值为 40μg/m³、24 小时平均浓度为 80μg/m³、1 小时平均浓度为 200μg/m³。

那为什么要对环境空气中的二氧化氮进行监测，其原因和作用是什么呢？二氧化氮其本身就是具有毒性的。吸入过量后，轻度的会造成咳嗽、呼吸困难、胸闷等症状，而重度的可能引发肺水肿、损害呼吸道。二氧化氮还会刺激眼睛，其分解产生的无定型二氧化硅颗粒会引发眼部不适；吸入高浓度的二氧化氮会引起头痛、头晕并刺激上呼吸道，过度吸入还会诱发肺炎和肾病，高浓度环境下甚至可能因自燃造成热灼伤，对现场工作人员的健康构成严重威胁。

在半导体制造领域，二氧化氮是多种核心工艺的关键气体或副产物，应用场景贯穿薄膜沉积、刻蚀、表面钝化等关键环节。在化学气相沉积（CVD）工艺中，二氧化氮作为氮氧化物源，与硅烷、TEOS 等前驱体反应，生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）薄膜，用作芯片层间介质，提升器件可靠性与表面平坦化效果；在硅表面钝化工艺中，二氧化氮可在硅片表面形成氮氧化物薄层，降低界面态密度，改善芯片电学性能；此外，它还参与等离子体刻蚀、离子注入等工序，同时也是氮化硅蚀刻等过程的副产物，若泄漏或超标积聚，不仅会危害人员健康，还可能腐蚀精密设备、降低芯片良品率。

深国安带 SLI2 安全认证的在线二氧化氮气体检测仪，专为半导体现场二氧化氮检测打造，契合半导体行业高精度、高可靠性的气体监测需求。该设备可 24 小时连续在线监测二氧化氮浓度及环境温湿度，支持同时扩展检测 1～6 种气体浓度和温湿度，适配半导体车间多气体协同监测场景。

设备采用 2.5 寸高清彩屏实时显示数据，选用性能稳定的电化学气体传感器，搭配先进的电路设计与成熟的内核算法处理，已取得多项软件著作，检测精度与稳定性符合半导体严苛生产标准。它既可以检测管道中、受限空间及大气环境中的气体浓度，也能精准检测气体泄漏与高浓度单一气体纯度，覆盖半导体工艺管道、洁净室、排风管道、气体存储区等全场景监测需求。

检测仪配备坚固耐用的防爆外壳，采用氟碳漆表面处理工艺，耐磨损、防腐蚀，10 年内不褪色不掉漆，可适应半导体车间强酸强碱的腐蚀性环境与各类危险场所，运行稳定可靠。

深国安带 SLI2 安全认证的在线二氧化氮气体检测仪特点

任何气体尺寸统一、信号统一、用法统一；

扩散式、泵吸式两种采样方式可选，适配半导体不同监测点位需求；

可选配专属标气罩，由扩散式气室变成泵吸式气室，灵活适配多场景采样；

一体泵吸式气室可选，方便泵吸式采样，满足管道、密闭空间等特殊场景监测；

只需对接一次，即可对应 1000 多种二硫化碳、有毒和挥发性气体，一劳永逸，适配半导体多气体扩展监测需求。

该检测仪在半导体行业的应用，既能实时监测二氧化氮浓度，通过现场声光报警与远程数据传输功能，及时预警浓度超标风险，保障工作人员人身安全；又能通过持续监测工艺气体浓度与泄漏情况，保护精密生产设备，避免因二氧化氮腐蚀或杂质污染导致的芯片良品率下降，为半导体生产线的安全、稳定、高效运行提供坚实保障。