技术文章_第(115)页－深圳市深国安电子科技有限公司

2025-04-23

三氟化氮检测仪适用于多种工业和科研场景，特别是在需要监测高纯度气体环境或潜在泄漏风险的环境中。以下是对三氟化氮检测仪适用场景的详细分析：一、半导体制造行业1.原理及需求在半导体制造过程中，三氟化氮常用于化学气相沉积（CVD）和蚀刻工艺。例如，在等离子体增强化学气相沉积（PECVD...

2021
6-18

可燃性气体甲烷应该如果监测甲烷（CH4）在常温常压下是无色、无味、无臭、无毒气体。植物在没有空气的条件下腐烂以及一些复杂分子经过断裂最终会生成甲烷。天然气的主要成分就是甲烷，煤矿的瓦斯气和沼气池中也含有大量的甲烷。甲烷（CH4）和空气的混合气在点燃时会发生爆炸。在空气的体积爆炸范围为5.3%~14.0%，质量的爆炸范围为35~93mg/L。甲烷与氧气的混合气的体积爆炸范围为8.25%~55.8%。甲烷和氯气（Cl2）的混合气，收到日光直射时，也容易引起爆炸。在新鲜的空气中甲烷的爆炸极限一般为5.3%~...

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