深国安便携式氩气气体检测仪在半导体行业的应用

深国安便携式氩气气体检测仪在半导体行业的应用

一、应用背景：半导体行业对氩气安全管理的核心需求

氩气（Ar）作为半导体制造中的关键工艺气体，主要用于等离子蚀刻（Dry Etching）、物理气相沉积（PVD）等核心制程：在等离子蚀刻中，氩气经射频电源激发形成等离子体，通过物理轰击作用实现晶圆图形化；在PVD工艺中，氩气作为溅射气体，辅助金属（如铝、铜）薄膜的沉积。

二、核心功能：适配半导体场景的检测能力

1. 高精度泄漏监测

• 量程与分辨率：支持0-100% Vol（体积浓度）宽量程检测，最小分辨率达0.1% Vol，可精准捕捉管道接口、阀门等部位的微量泄漏（如≤0.5% Vol泄漏即可触发预警）。

• 快速响应性能：采用进口催化燃烧式或热导式传感器，响应时间≤10秒（T90），满足半导体洁净室“实时巡检-即时处置"的效率要求。

2. 多场景适配设计

• 便携与灵活操作：设备重量≤500g，配备可伸缩探杆（长度0.5-1.5m），支持对设备内部狭小空间（如PVD腔体门缝、气体管路接头）进行定点检测。

• 数据追溯与合规管理：内置存储芯片（支持≥10万条数据记录），可通过USB或无线蓝牙导出检测报告，满足ISO 14644洁净室管理标准中“气体泄漏日志留存"要求。

• 多级报警机制：支持声光报警（85dB蜂鸣器+红色LED频闪）及振动报警，报警阈值可自定义（如设定“低报：1% Vol，高报：5% Vol"），适配半导体车间“分级处置"需求。

• 长续航与低维护：内置5000mAh锂电池，续航时间≥8小时（连续检测模式），传感器寿命≥3年，减少停机校准对产线的影响。