深国安在线式氩气气体检测仪在半导体行业的应用

氩气（Ar）是半导体制造的核心工艺气体，广泛用于等离子蚀刻（Dry Etching）、物理气相沉积（PVD）等关键环节：在等离子蚀刻中，氩气经射频激发形成高能等离子体，通过物理轰击实现晶圆图形化；在PVD工艺中，氩气作为溅射气体辅助金属薄膜（如铝、铜互联层）沉积。由于氩气为惰性气体，泄漏后会取代空气中的氧气，导致局部缺氧（当浓度＞75%时可引发窒息风险），同时高浓度氩气与设备摩擦可能产生静电，威胁洁净室安全。因此，半导体工厂需对氩气存储区、管路接口、工艺设备腔体等关键点位进行24小时实时监测，确保泄漏隐患早发现、早处置。

• 固定安装与多点覆盖：支持壁挂、管道式或法兰安装，可部署于气体房、PVD/蚀刻机台附近、洁净室吊顶等关键区域，配合多通道模块（1-16路可选）实现对多个监测点的集中管控。

• 数据实时上传：通过4G/NB-IoT/以太网接口对接工厂DCS、PLC系统或云平台，实时显示氩气浓度（单位：%Vol）、设备状态（运行/故障）及报警信息，数据更新频率≤1秒，满足半导体工厂“工艺透明化"管理需求。

2. 高精度与高稳定性检测

• 传感器与算法优化：采用进口热导式传感器（适用于高浓度氩气检测），结合温湿度补偿算法与零点漂移抑制技术，检测范围覆盖0-100%Vol，分辨率达0.1%Vol，可精准识别微量泄漏（如管道接口0.5%Vol缓慢泄漏）。

• 抗干扰设计：内置电磁屏蔽模块，可抵御光刻机、离子注入机等强电磁设备干扰；外壳采用316L不锈钢材质，防护等级IP66，适应半导体洁净室（Class 10/100级）的严苛环境（温度-20℃~60℃，湿度10%-95%RH无冷凝）。

深国安在线式氩气检测仪通过对关键区域的实时监测、智能预警与联动控制，可有效降低氩气泄漏导致的缺氧风险及设备故障，保障洁净室人员安全与生产连续性。其数据联网功能还能为工厂提供氩气消耗分析、泄漏趋势预判等决策支持，助力半导体企业实现“安全管控-工艺优化-合规管理"的一体化目标